上海机电设备招标有限公司

中标单位：上海溧国建筑工程有限公司

招标单位：中国科学院上海应用物理研究所

中标单位：上海振南工程咨询监理有限责任公司

招标单位：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司